Ba Applications spécifiques ya ba Nettoyage ya Plasma

Bamasini ya kosukola/kosala gravure na plasma ebimisaka plasma na kotiaka ba électrodes mibale na kati ya eloko oyo ekangami mpo na kosala champ électrique. Pompe à vide esalelamaka mpo na kobatela nivo moko boye ya vide. Lokola gaze yango ezali kokóma mingi te, ntaka oyo ezali kati na bamolekile mpe kotambola ya bonsomi ya bamolekile to ba ions ekómaka mpe kobakisama. Na bopusi ya champ électrique, ba ions yango ekutanaka mpe esalaka plasma. Ba ions yango esalaka réactif mingi, ezali na énergie ekoki mpo na kobuka pene na ba liaisons chimiques nionso, mpe yango esalaka que ba réactions chimiques ezala na esika nionso oyo ezali polele. Ba plasma ya gaze ndenge na ndenge ezali na bizaleli ya chimique ndenge na ndenge. Na ndakisa, plasma ya oxygène ezali kosala oxydation mingi, ekoki kosala oxydation ya photorésist mpo na kobimisa gaze, mpe na ndenge yango, ekokisaka effet ya bopeto. Plasma ya gaz corrosif ezali na anisotropie excellent, oyo ekokisaka ba exigences ya gravure. Traitement ya plasma ebimisaka glow, yango wana babengaki yango glow discharge.
Mecanisme ya bopeto ya plasma etali libosoliboso "activation" ya ba particules actives na plasma mpo na kolongola ba taches ya surface. Na oyo etali ndenge oyo réaction esalaka, mbala mingi bopɛto ya plasma esɛngaka makambo oyo: bagaze oyo ezali na bomoi te elamusamaka na ezalela ya plasma; biloko oyo ezali na gaze ekɔtaka na esika oyo ezali makasi; bituluku oyo ekɔtisami esalaka na molécule oyo ezali na likoló ya eloko oyo ezali makasi mpo na kosala bamolekile ya biloko oyo euti na biloko; ba molécules ya produit epɔlaka na phase ya gaz; mpe ba résidus ya réaction elongolamaka na likolo.

Likambo ya ntina mingi na mayele ya bopɛto ya plasma ezali ete ekoki kosalisa lolenge nyonso ya substrat, bakisa mpe bibende, semi-conducteurs, ba oxydes, mpe biloko mingi ya polymère lokola polypropylène, polyester, polyimide, chlorure de polyvinyle, époxy, mpe ata polytétrafluoroéthylène. Ekoki kosukola ezala likoló mobimba mpe bisika ya sikisiki, bakisa mpe biloko ya mindɔndɔmindɔndɔ.